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TESCAN 高分辨率场发射扫描电镜


 

 

 


半导体和微电子

SEM
扫描电子显微镜是一种众所周知的无损分析技术,它使用电子束分析样品表面,分析尺度可至纳米级。扫描电子显微镜可获得高分辨的高倍图像,广泛应用于各个科学和工业领域。

TESCAN 提供场发射扫描电子显微镜 ( FE-SEM ) ,配备高亮度肖特基场发射灯丝,可以获得高分辨率和低噪声成像效果。其中,TESCAN MIRA 系列是高分辨率的场发射扫描电镜。此外,TESCAN 最新推出了 TESCAN CLARA 和 TESCAN MAGNA 系列产品。TESCAN CLARA 采用新型BrightBeam™ 电子镜筒技术,实现了无磁场超高分辨成像,可以实现各种分析,包括磁性样品的分析。TESCAN MAGNA 配置Triglav™ 型超高分辨率电子镜筒,同时使用了全新的电子光学系统和探测器系统,能够提供良好的表面灵敏度和衬度图像,实现对电子束高敏材料或不导电材料纳米特征的观察。

产品型号(点击型号链接可查看详细介绍):

TESCAN MIRA
TESCAN CLARA
TESCAN MAGNA

适用领域

半导体和微电子:球栅阵列、硅通孔、引线焊接、微机电系统
材料科学:钢铁及合金、陶瓷及硬质涂层、玻璃、聚合物及复合材料、土木工程和建筑材料、木材,纺织品及纸张
生命科学:生物医学工程、细胞&组织形态学、微生物学、制药技术、植物和动物科学、亚细胞分析、环境和食品科学
地球科学:岩石学 & 矿物学、古生物学、矿物加工、废物回收、